主营产品：

BET比表面及孔径分析仪、真密度/开闭孔率测定仪、高温高压气体吸附仪

导读：国仪量子高分辨低真空钨灯丝扫描电镜的解决方案@技术新闻

发布时间：2023/2/13 10:12:13阅读人数：2485

据技术部2月13日10点00分透露：导读：国仪量子高分辨低真空钨灯丝扫描电镜的解决方案@技术新闻 http://www.app17.com/c162347/products/d11675684.html

低真空模式
在低真空下提供样品表面细节和形貌，软件一键切换真空状态

产品特点
低电压
低真空
大视场
导航&防碰撞
光学导航
手势快捷导航
防碰撞技术

特色功能
智能辅助消像散
自动聚集
自动消像散
自动亮度对比度
多种信息同时成像
快速图像旋转

丰富拓展性

扫描电子显微镜不仅局限于表面形貌的观察，更可以进行样品表面的微区成分分析。

SEM3200接口丰富，除支持常规的二次电子探测器（ETD）、背散射电子探测器（BSED）、X射线能谱仪（EDS）外，也预留了诸多接口，如电子背散射衍射（EBSD）、阴射线（CL）等探测器都可以在SEM3200上进行集成。

型号			SEM3200A	SEM3200
电子光学系统	电子枪类型		预对中型发叉式钨灯丝电子枪
	分辨率	高真空	3 nm @ 30 kV（SE）
			4 nm @ 30 kV（BSE）
			8 nm @ 3 kV（SE）
		*低真空	3 nm @ 30 kV（SE）
	放大倍率		1-300,000x（底片倍率）
	放大倍率		1-1000,000x（屏幕倍）
	加速电压		0.2 kV～30 kV
成像系统	探测器		二次电子探测器（ETD）
	探测器		背散射电子探测器、低真空二次电子探测器、*能谱仪EDS等
	图像保存格式		TIFF、JPG、PNG
真空系统	真空模式	高真空	优于5×10^-4 Pa
	真空模式	低真空	5～1000 Pa
	控制方式		全自动控制
	涡轮分子泵		≥ 240 L/S
	机械泵		200 L/min （50 Hz）
样品室	摄像头		光学导航
	摄像头		样品仓内监控
	样品台配置		三轴自动	五轴自动
	行程		X: 120 mm	X: 120 mm
			Y: 115 mm	Y: 115 mm
			Z: 50 mm	Z: 50 mm
			/	R: 360°
			/	T: -10°～ +90°
软件	语言		中文
	操作系统		Windows
	导航		光学导航、手势快速导航
	自动功能		自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散
	特色功能		智能辅助消像散、*大图拼接（选配软件）
安装要求	房间		长 ≥ 3000 mm，宽 ≥ 4000 mm，高 ≥ 2300 mm
	温度		20 ℃～25 ℃
	湿度		≤ 50 %
	电气参数		电源AC 220 V(±10 %)，50 Hz，2 kVA

原创作者：国仪量子技术（合肥）股份有限公司