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国仪量子高分辨低真空钨灯丝扫描电镜
产品详情

扫描电子显微镜
SEM3200

SEM3200是一款高性能、应用广泛的通用型钨灯丝扫描电子显微镜。拥有出色的成像质量、可兼容低真空模式、在不同的视场范围下均可得到高分辨率图像。
大景深,成像富有立体感。丰富的扩展性,助您在显微成像的中尽情探索。


 

丰富的扩展性
SE/BSE/EDS/EBSD等

光学导航
可快速定位目标样品和感兴趣区域

大图拼接
可实现全自动的采图和拼接,展示超大视野画面

图像混合成像(SE+BSE)
在一个图像中观察到样品的成分和表面信息

双阳结构
双阳机构设计,提升了低电压下的分辨率和成像质量

低真空模式
在低真空下提供样品表面细节和形貌,软件一键切换真空状态


产品特点

低电压
低真空
大视场
导航&防碰撞
光学导航
手势快捷导航
防碰撞技术


特色功能
智能辅助消像散
自动聚集
自动消像散
自动亮度对比度
多种信息同时成像
快速图像旋转

丰富拓展性
扫描电子显微镜不仅局限于表面形貌的观察,更可以进行样品表面的微区成分分析。
SEM3200接口丰富,除支持常规的二次电子探测器(ETD)、背散射电子探测器(BSED)、X射线能谱仪(EDS)外,也预留了诸多接口,如电子背散射衍射(EBSD)、阴射线(CL)等探测器都可以在SEM3200上进行集成。



产品参数

型号 SEM3200A SEM3200
电子光学系统 电子枪类型 预对中型发叉式钨灯丝电子枪
分辨率 高真空 3 nm @ 30 kV(SE)
4 nm @ 30 kV(BSE)
8 nm @ 3 kV(SE)
*低真空 3 nm @ 30 kV(SE)
放大倍率 1-300,000x(底片倍率)
1-1000,000x(屏幕倍)
加速电压 0.2 kV~30 kV
成像系统 探测器 二次电子探测器(ETD)
背散射电子探测器、低真空二次电子探测器、*能谱仪EDS等
图像保存格式 TIFF、JPG、PNG
真空系统 真空模式 高真空 优于5×10-4 Pa
低真空 5~1000 Pa
控制方式 全自动控制
涡轮分子泵 ≥ 240 L/S
机械泵 200 L/min (50 Hz)
样品室 摄像头 光学导航
样品仓内监控
样品台配置 三轴自动 五轴自动
行程 X: 120 mm X: 120 mm
Y: 115 mm Y: 115 mm
Z: 50 mm Z: 50 mm
/ R: 360°
/ T: -10°~ +90°
软件 语言 中文
操作系统 Windows
导航 光学导航、手势快速导航
自动功能 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散
特色功能 智能辅助消像散、*大图拼接(选配软件)
安装要求 房间 长 ≥ 3000 mm,宽 ≥ 4000 mm,高 ≥ 2300 mm
温度 20 ℃~25 ℃
湿度 ≤ 50 %
电气参数 电源AC 220 V(±10 %),50 Hz,2 kVA


更新时间:2024/4/7 11:26:21

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