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  • 超高分辨场发射扫描电子显微镜

    型号:SEM5000X

    超高分辨场发射扫描电子显微镜

    sem5000x是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜,其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kv和1.0 nm@1 kv。高分辨物镜设计、高压隧道技术(supertunnel)以及镜筒工艺升,实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓,扩展接口增加至16个,快速换样仓大支持8寸晶圆(大直径208 mm),大扩展应用范围。高扫描模式和自动功能增强,带来了更强的性能和更好的体验。

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